目前，我国电子工业部把工业超纯水水质技术分为五个行业标准(GB/T 11446)，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
制备超纯水的办法一般选用反渗透设备，去离子或电去离子(EDI)等工艺。
在水质要求达10MΩ.cm以上，一般选用不同的工艺进行组合调配的办法来制取，例如选用反渗透加去离子，反渗透加EDI等。

为满足用户需要，达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量;在工艺设计上，取达国家自来水标准的水为源水，经过预处理系统、反渗透系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)等系统，根据不同用户对纯水的要求不一，以排列组合的方式，生产出一套套量身订制的纯水处理设备。

工业纯水设备在原水为自来水电导率≤500μs/cm、浊度≤5的情况下，出水水质电导率：EC=1~10us/cm的用水标准条件下其工艺流程如下：

其各个部件的功能如下：

原水塔：主要是减少泵在运行过程中受自来水压力不稳定带来的机械故障，是食品级聚乙烯材料具有良好的耐酸碱性，卫生性，抗紫外线耐撞击，抗强震不易老化，不长水藻，使用寿命10年以上。

原水泵：提供恒压保，证进水压力具有率、低噪音等特点，采用低噪铸铁泵壳不锈钢叶轮，运行时长达100000个小时（10年）

滤芯在反渗透设备中起到去除水中泥沙等大颗粒杂物的作用，全新的滤芯是白色的，但随着时间的推移，会终变为褐色，因为存有了大量的污垢嘛，所以就好比洗衣机里的纱网，工业纯水，要及时的更换，才能确保水质不会下架。
反渗透膜在设备中起到至关重要的作用，然而它只能用个3到5年，超过5年，它能起到的作用就微乎其微了，所以记得及时更换新的。
对于生活用水来讲，只要水源质量高，只需要消毒好了便可以了。

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